1. 简介
光刻掩模版(Mask Reticle),是微纳加工技术中光刻工艺中使用的图形母版。由不透光的遮光薄膜和透光的图形组成。主要应用在如集成电路,印刷电路板,平板显示器,微纳光学元件等。
我司的掩模板加工有两种方式:一为激光直写;另一为电子束直写。
2. 技术参数
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